小。这种液体可用于低于 10-9 mbar 的最清洁的高真空和超高真空应用（例如电子显微镜、质谱分析仪和表面物理研究），在这些领域可以发挥其卓越的高真空性能以及不易渗入泵系统的趋势，因此推荐在这些领域中使用。在正常工作温度下，该液体化学稳定性强、无腐蚀性且安全无毒。液体分解产物（由于聚合反应等因素）一般是导电的。

应用：

质谱分析仪,电子显微镜,薄膜溅射,表面研究,UHV 系统,泄漏探测,增力阀,空间研究,放射性

Santovac 5真空油为聚甲基丙烯酸脂醚，适用于电子显微镜和气相色普－质朴（GC-MS）领域。性能稳定，不易被氧化。Santovac 5真空油具有极低的蒸汽压，可以使泵得到接近极限的真空度；适合扩散泵，不需要任何类型的液氮冷阱；100％五环聚酯醚。

Santovac 5真空油广泛应用于各种分析实验室和电子显微实验室