韩国NTW尾气处理设备Scrubber

种类包括：

1，燃烧水洗式；

2，吸附式；

3，电离式；

4，水洗式；

主要用于处理：太阳能光伏、半导体、微电子、LED等行业中产生的废气。

能处理气体主要有：SiH4、NH3、PH3、B2H6、GeH4、SiH2Cl2、TEOS、NF3、H2、CO、SF6、C2F6、WF6、N2O、CF4 等。

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