型号

SWIM 1510MS

系统配备

显微镜、扫描控制器、移动平台、取得单元、个人计算机

显微镜

单眼显微镜（标准配件）

干涉物镜（选配）

 放大率                     视野（mm）                   光学分辨率（nm）

 10X                             0.5                                     1.12
 20X                             0.25                                   0.84
 50X                             0.1                                      0.61                   

影像缩放

                          1.0X（标配） 0.5X（选配）

垂直扫描控制器

扫描范围

扫描分辨率

扫描模式

光强度调整

扫描速度

100 μm 400 μm(选配)

0.1nm

自动

自动/手动

12nm/s（最快）

样品移动平台

X、Y平面多动平台

Z轴移动平台

位置数字显示单元

偏移调整平台

 150mm*100mm,手动（标准配件）

80mm, 手动(标准配件)

三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1 μm）

手动

 取得单元

 影像传感器

 感测器解析度

 面型CCD（标准配件）

640*480图像(标准配件)

电脑配件

Pentium-Computer,17" LCD  Monitor ,120G以上硬盘

分     
析     软       体       

MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含ISO粗糙度/阶高分析,快速付利叶转换和滤多，多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等

阶高标准片(选配)

        50nm                 170nm           230nm              470nm           1800nm