产品功能
定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。
性能优势
技术参数
| 型号：ZLM700 | 使用高性能数据处理器AE950 PCI |
| He-Ne激光平均波长： | 632.8 nm |
| 激光稳频精度： | 一小时2x10-9（±0.002ppm） 寿命内2x10-8（±0.02ppm） |
| 系统精度（0-40℃时）： | ±0.4ppm |
| 光束直径： | 6mm (可选3.2mm) |
| 激光管突发最大输出功率： | 1mW (激光等级2) |
| 每束光可测量的轴数： | 1 |
| 线性测量距离： | 40m，可扩展为120m |
| 角度测量范围： | ± 15°，20m轴线范围 |
| 平面度测量范围： | 20m行程 |
| 直线度测量范围： | ± 5mm，2m或10m行程， 选用角度干涉仪可测30m行程 |
| 垂直度测量范围： | ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉仪 |
| 最大速度： | 4m/s，可选16m/s 80rad/s，角速度 |
| 最大加速： | 无限制 |
| 最高采样频率： | 内部1MHz，外部40MHz |
| 预热时间： | 10分钟 |
| 精度/非线性： | ±0.3nm (角隅反射镜) ±0.1nm (平面反射镜) |
| 距离测量分辨率： | 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 |
| 距离测量精度： (20°±0.5°) 使用AUK时 (20°±0.5°) 真空中时 | ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
| 线性度测量分辨率： | 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 |
| 线性度测量精度： (20°±0.5°) 使用AUK时 (20°±0.5°) 真空中时 | ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
| 速度测量精度： | ±0.5ppm实测值 |
| 角度测量分辨率： | 0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
| 角度测量精度： | ±0.1ppm实测值 |
| 平面度测量分辨率： | 0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
| 平面度测量精度： | ±0.2%实测值 ±0.05 弧度/米运行距离 |
| 直线度测量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 直线度测量精度： | ±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程 |
| 垂直度测量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 垂直度测量精度： | ±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒* |
| 数据接口： | 积分信号 32 Bit (实时时间) Dt ? 20 ns |
| 数据分析标准： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作环境： | 温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝 |
| 储存环境： | 温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝 |
应用光路图
以上为直线度测量示意图，包括水平方向直线度和垂直方向直线度
以上是平面度测量示意图
以上是垂直度测量示意图
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图
以上是对角测量示意图
以上是俯仰角测量示意图
以上是偏摆角测量示意图
以上是滚动角测量示意图
以上是回转台定位精度测量示意图
资料下载
耶拿尔双频激光干涉仪样本（中文）.pdf激光干涉仪说明书（中文）.pdf
